“扩散掺杂的片内均匀性波动超过20%!这怎么做高精度模拟芯片?我们定的规格要求是小于5%!”
王晓军抬起头,脸色同样不好看。他推了推鼻梁上那副新配的金丝眼镜(用项目经费买的),镜片后的眼神带着疲惫和一丝不易察觉的烦躁。
“秦工,这能怪我吗?”王晓军的语气带着委屈和不满,“王院士那边提供的扩散炉工艺参数,是针对6寸硅片和进口高纯石英管优化的。
我们临时采购的这台国产二手扩散炉,温场均匀性本来就差,配套的石英舟精度也不够!还有这硅片,”
他拿起一片闪着金属光泽、尺寸明显比之前大了一圈的4寸硅片。
“国产线刚拉出来的,基底杂质分布不均匀是常态!按王院士那套‘标准’工艺走,能做成这样已经烧高香了。
你还想要5%均匀性?除非换进口炉管和舟,用日城的硅片!”
“换?钱呢?”秦浩的声音陡然拔高,指着窗外轰鸣的工地,“示范线的钱一分不能动!那是专款。
林主任特批给净化车间和关键设备的!我们现在是在用项目结余的‘机动经费’给你擦屁股!这点钱,连进口炉管的一个零头都不够!”
“那你说怎么办?”王晓军也火了,猛地站起来,金丝眼镜滑到鼻尖,“用土办法?像以前那样靠老师傅的手感去微调?秦浩,时代变了!我们现在做的是高精度模拟前端芯片!不是粗放的存储器。
0.1微米的线宽,0.01%的电阻匹配精度!靠手感?你摸得出来吗?我们现在是在建示范线。
是要做出符合国际标准的、能拿得出手的产品!不是以前在破仓库里小打小闹了!”
“小打小闹?”秦浩的眼神瞬间冷了下来,像冰锥一样刺向王晓军。
“没有仓库里的‘小打小闹’,没有那些‘土办法’,你王晓军今天能坐在这里,对着进口仪器指手画脚?能戴上这金丝眼镜?能跟王院士的团队搭上话?!”
“你!”王晓军脸涨得通红,嘴唇哆嗦着,却说不出反驳的话。
仓库里那段用命拼杀的日子,是他无法抹去的烙印,也是他内心深处最复杂的情结。
“吵什么吵!”
周文兵粗粝的嗓门炸
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