周文兵猛地直起身,布满老茧的手指如同标枪般,精准地指向PECVD主腔体顶部一个极其隐蔽的、连接射频匹配器的高压电极引入法兰接口!
红外热像仪的屏幕上,那个位置显示出一个极其微弱的、比周围高出不到0.5℃的小红点!“声音最‘涩’!就是这儿!有‘沙眼’!”
几乎同时,王晓军也发出一声低呼:“秦总!林工!快看真空泵电流波形!
在保压测试第57分钟和112分钟时,有两次持续时间不足10毫秒的、幅度小于1%的微小电流波动!
位置…和周师傅指的地方完全吻合!是极微小的、间歇性泄漏!在高压差下才会偶尔‘呲’一下!”
真相大白!那个被完美保压测试数据掩盖的、如同幽灵般间歇出现的、极其微小的泄漏点,被“土洋结合”的精密“围猎”揪了出来!
林薇的脸色瞬间变得苍白,随即又涌上一股后怕的潮红。
她看着屏幕上那两次几乎被忽略的微小电流波动,再看向周文兵指着的那个隐蔽接口,后背瞬间被冷汗浸透。
如果没有被叫停…通入硅烷…那难以清洗的粉末状沉积物…设备大修…工期延误…后果不堪设想!
“立刻停机!泄压!更换该处密封圈!”秦浩的声音沉稳有力,带着劫后余生的决断。
“林工,组织抢修!王工,周师傅,将这次排查的过程、发现的异常特征、使用的监测手段。
尤其是这种极其隐蔽的间歇性微泄漏的‘指纹’信号(包括RGA水汽峰特征、真空泵电流毫秒级毛刺特征、特定位置异响特征),详细记录。
补充进我们的设备调试案例库!这是血的教训,更是宝贵的经验!”
一场迫在眉睫的重大设备事故被扼杀在摇篮。
洁净室里,众人看着那个被拆下的、肉眼几乎看不出缺陷但内部已有微小损伤的进口密封圈,再看向周文兵和王晓军,眼神彻底变了。
那份曾经横亘在“标准”与“土法”之间的无形壁垒,在这一刻,被一种油然而生的、混合着敬佩与后怕的情绪悄然溶解。真正的融合,往往始于对彼此价值的深刻认知和劫难边缘的并肩作战。
然而,就在密封圈更换完毕,腔体重
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