他们均来自春城光机所和微电子装备,属于所内最有实力的教授研究员,参与了90纳米工艺光刻机研发。
由于当日他们其中绝大多数人,因为太过紧急,未能准时出席科学院总部的研讨会,所以对徐铭提出的新设想是首次进行了解。
加上从来没有面对过,如此年轻的总设计师,哪怕知道徐铭在数学和物理领域的成就。
心里面难免会有些轻视。
毕竟术业有专攻,数学天才来到光刻机领域,不见得立马就能有很高水平。
特别若是没有足够的实力,身处这个位置,还有可能耽误国产高端光刻机的研发。
潘耀今年三十岁出头,他作为贺鹏涛院士学生,在国产光刻机研发中,解决了一项难题,使得制造工艺顺利达到了90纳米,顺利成为春城光机所最年轻的正研究员。
被老师要求前往微电子装备参与实验时,他还以为自己老师会担任总设计师。
尽管对于徐铭的名字,他不止一次听到过,承认对方的天赋远比他强,可今天这场讨论会刚开始,徐铭就直接拿出了实验方案。
并对之前的光源技术全盘否定。
这让他心里不由得打鼓,不由得产生些许忧虑。
他之所以选择投身光刻机领域,正是看到了国内高端晶片制造技术的落后。
担心未来半导体行业的弱势,会带来影响。
怎奈没有料到,海外方面的动作会这么快,在国内光刻机还只有90纳米工艺时,便迅速采取了限制措施。
面对这样的困境,毫无疑问,他无比希望国产高端光刻机技术能赶紧突破。
但在注意到自己老师,以及丁顺安院士的样子,潘耀还是认真研究起文件中的内容。
「我倒要看看,你这个总设计师是不是名副其实。」
心中暗自低喃一句,很快便沉浸其中。
而随著时间一分一秒流逝,他脸上的表情,也迅速不断发生变化。
从最开始的平静,到眼中闪出惊喜,最后则只剩下兴奋和激动,手掌都不知道啥时候紧紧攥在了一起。
「实验方案竟然这么成熟————可行性也很高。」
「这确实有可能获得稳定的极紫外光源。」
整个人有些呆滞的轻声念叨,万万没想到文
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