在屏幕前的潘耀大声询问具体数据,想知道最终结果究竟如何。
虽说包括徐铭在内的其他人,没有再开口,但大家的目光无一例外,都集中在了潘耀的身上,因为过度紧张甚至有人都快要屏住呼吸。
约摸过去了将近两分钟时间,潘耀的声音终于在实验室内响起。
能够听出其中夹杂著明显的激动情绪。
「有结果了。」
「雷射在光源靶盘上,成功激发出等离激元耦合态。」
「辐射出的光源波长为13.5纳米。」
「输出光源稳定在50瓦,转化效率突破15%。」
几乎是潘耀话音落下的瞬间,整个实验室内顿时爆发出雷鸣般的热烈鼓掌声,每个人脸上都肉眼可见的浮现出发自内心的喜悦。
「成功了。」
「我们掌握了稳定的极紫外光源,这是国产高端光刻机研发的一大步。」
「徐总师的设想是正确的。」
「很难想像首次实验,转化效率就达到了15%,这可比海外主流的极紫外光源技术高效许多。」
「简直是在做梦。」
凡是抽调进光刻机专项研究组的成员,都属于两个光机所内的优秀科研人员,对极紫外光源的好处无比清楚。
但就是这样决定著高端光刻机工艺的光源,在几个月前对国内方面来说,还是可望而不可及的遥远存在,只有海外的阿斯麦公司才能研发极紫外光刻机。
可此刻在微电子装备总部实验室内,却诞生出了转化效率高达15%的稳定极紫外光。
毫不夸张的讲,这项成果无论放在哪里,都是地震。
足以让全世界感到吃惊。
待众人的情绪逐渐平复下来,贺鹏涛依旧查看著屏幕中反馈的数据,随后恋恋不舍收回目光,才直起身体看向面前的徐铭面色潮红。
「太让人惊喜了,采用新理论得到的极紫外光,已经远远超过海外主流的轰击锡滴技术。」
「解决高端光刻机的核心光源系统,接下来我们的国产光刻机研发,肯定会迎来一段飞速发展的阶段。」
「我提议应该立刻向外界宣布此消息,让海外知道华国有能力研发高端光刻机。」
对此旁边的丁顺安也没保持沉默,闻言虽不愿意破坏眼下的气氛,但最终
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