一句。
「这不是改进,是对光源物理的重新书写。」
然还没容他继续思考,注意力顿时又被台上,徐铭放出的新内容吸引。
「凭借逐光极紫外光刻机,和璇玑算法工具,以及由我们自主研发的全新一代光刻胶共同配合,首次全链路流片验证便取得圆满成功。」
「设备综合利用率98.7%。」
「预测良率98.3%。」
「实际量测良率99%。」
目光盯著屏幕中,那近乎一条直线的波动曲线,温克姆脸上的自信彻底消失不见。
他下意识地看了眼身旁的布林克,发现后者正捧著笔记本电脑快速敲击,似乎是在验算著什么,并且整个脸色越来越白。
公司最先进的工厂,要打成这样的稳定性,需要多复杂的自适应调教,多么漫长的工艺爬坡,他们两个人可以说都非常心知肚明。
如此小的预测和实际测量误差,完全违背了他们熟知的工业常识。
却也说明对方已经具备成熟的系统协同。
毫不夸张的讲,他们与海外众多客户,数十年磨合建立的共生生态,被这种更高效更封闭的内循环模式挑战。
关键他竟找不到自家的任何优势。
台上的徐铭,没有去关注其他人的反应,在最后他又放出了两张测试晶片的电子显微镜照片。
正是逐光生产的5纳米复杂工艺,以及阿斯麦公布的自家7纳米流片数据。
「请注意边缘轮廓与接触孔底部的形貌。」
徐铭从旁提醒著,随之调出三维原子探针断层扫描数据图揭示细节。
能够清晰看到,逐光极紫外光刻机产出的结构,侧壁垂直度和界面粗糙度在统计指标上更优。
同样半个小时过去,徐铭的这场演讲,也以圆满的结尾进入尾声。
「我们研发的不是一台光刻机,我们提供的,是一个确定的答案。」
「输入设计目标,输出制造结果。」
「其间的所有不确定性,由我们的系统消化,这就是我们定义的下一代制造。」
随著徐铭彻底讲完,场内掌声立刻如海啸般爆发。
久经不息。
但温克姆却听不到。
他的世界很安静。
面对摆在眼前的事实,他不得不承认,阿斯麦输了。
输的
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