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这样一层一层叠上去,会不会在一块半导体上做出很多不同功能的区域?

当然,这只是一个外行的瞎想。

我学的是精密仪器,对半导体一窍不通。

但如果你那边的同事有兴趣,也许可以试试那种多次氧化、多次腐蚀的路线。我觉得挺有意思的。】

她顿了顿,又在嘴里念叨了一遍,感觉应该没毛病。

多次氧化、多次光刻,放在1955年,听起来确实合理。

但实际上,每一次光刻都会引入对准误差,层数越多,良率越低。

到了后世,平面工艺的主流是一次光刻,多层淀积,而不是反复开窗口。

她指的路是死胡同,但至少要三五年后才能被人发现。

不求能阻拦多久,最起码让她在回国之后能赶上点进度。

她笑得肆意,又开始继续写。

【另外,我记得你在会上提到过模板转印的设想,我回去想了好久,觉得如果能把电路图案做得足够大,比如手掌那么大,然后用很多个强光源同时照射,是不是就能一次性转印出很多个电路?这样效率会不会提高很多?】

她差点笑出来。

把图案做大,然后多个光源同时照射。

听起来很聪明,但光学投影中有个基本定律。

分辨率与波长成正比,与数值孔径成反比。

图案做大,意味着需要更大的掩膜版和更均匀的光场,而多光源干涉会让边缘模糊得一塌糊涂。

这条路走下去,最后会发现花几十年也做不到高精度,还得回到缩小投影和步进重复的老路上。

【科学需要异想天开,这句话说得真好。我的异想天开就是。也许有一天,我们不需要在芯片上刻出各种形状,而是直接把不同的材料一层一层地堆叠上去,用材料本身的特性来实现电路功能?那样就没有光刻什么事了。不过这个想法太疯狂了。】

【你的朋友,时珈一】

多层异质外延,这个方向后来确实有人研究过,但难度极高,始终没能替代光刻。

写到这里,她停了笔。

通读一遍,语气轻松,带着朋友闲聊的味道。

内容上,全是“我觉得”“也许可以试试”“外行瞎想”,没有任何笃定的断言。

她写的这些思路,在19

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