又伸手感受了一下射频电源附近的工作温度。
然后在脑海里快速复盘了一遍这种平行板结构反应离子刻蚀机的工作原理。
这类设备的刻蚀均匀性受两个关键因素影响最大。
一是极板间距的机械平行度。
二是射频耦合腔内的电场分布对称性。
出厂数据通常在标准条件下测得，但设备经过长途海运和安装过程中的水平调整，极板之间的平行度极有可能发生微小偏移。
“钱工，可以尝试先把下电极版的水平度再调一”
林默直起腰来，指了指设备上腔体侧面的几个调节螺栓。
“安装过程中有搬运震动，电极板的平行度可能已经偏离了出厂时的状态。”
“用薄片塞尺在电极板四角走一遍，看看间隙差别是不是超过二十微米。”
“如果是机械平行度的问题，调平之后再把射频功率加载上去做第二轮的均匀性测试，效果应该就会出来了。”
钱学明顺着林默的手指方向看了一眼那几个螺栓，立刻明白了他的逻辑，瞬间反应过来，重重点了一下头。
“厂长，我明白了，我马上去拿塞尺。”
小日子工程师站在旁边，听到林默的这个建议之后，张了张嘴，嘴唇动了一下但最终没有说出反驳的话，只是把手里的参数表折好收进口袋里。
钱学明拿出塞尺俯下身去，绕电极板走了一圈，回来时手里的便签本上记了几个数字，眉头展开了大半：
“厂长，您说得没错，设备右后方的间隙比左侧大了大概四十微米，正好是问题所在，调整水平度之后再做一轮测试，八成能达标。”
林默点了点头，语气肯定：“设备运过来经过长途运输，安装过程也有振动，出厂数据只能作为参考，最终要以现场实测为准，你按照这个方向调就行了。”
钱学明立刻招呼旁边的年轻技术员开始松螺栓调平。
小日子工程师在旁边站了一会儿，看着钱学明快速完成调整，锁紧固定螺栓，重新启动设备，自始至终没有再开口，只是眼神中些许有一些震撼。
大约十五分钟后，设备面板上显示的均匀性数据从刚才的偏差百分之八下降到了百分之二
本章未完，请点击下一页继续阅读！