点三，完全进入了规格范围。
刻蚀机侧面红色的“报警”指示灯灭了，亮起了稳定的绿色工作灯。
“行了！”
钱学明直起腰来，用力拍了一下设备侧面的防护板，转头看向林默的时候，语气轻快了很多。
“厂长，多亏您来了，要不然我还得掰扯至少两天。”
说着，钱学明朝小日子工程师的方向偏了一下头，声音压低了半度。
“他非说设备没问题，让我们自己找测试方法的原因，死活不愿意让我们动设备内部的机械结构。”
林默笑了笑，声音淡定：“没事，设备是我们买的，怎么使用，怎么调整，是我们的事，他们的售后手册只是参考，不是圣经。”
80年代初期，小日子设备厂对国内市场确实有很多技术保留，有些工程师把设备的内部调整当作黑箱处理，不让客户碰，怕泄露核心技术。
甚至还有过买一套设备连关键管路怎么走的图纸都不给，最后只能现场拆机逆向测绘的情况，连买马桶都要附带图纸的故事都有过。
林默摆了摆手，再一次强调。
“钱工，现在我们是甲方，他们的服务态度迟早会跟着市场走，你该怎么做就怎么做，不用太在意他们的看法。”
钱学明听了连连点头。
他看了一眼已经稳定运行的刻蚀机，语气里带着一层压不住的兴奋。
“厂长，目前前端的光刻机已经能跑通最基本的曝光流程了，后端的刻蚀机刚才这个问题一解决，整条前道工艺线的大毛病基本都消除了。”
“剩下还有一些小的问题，主要是温度控制和气路切换的时序优化，预计最多三个星期，整条线就能进入试生产阶段，开始跑第一片晶圆。”
林默点了一下头，然后抬起手来，拍了拍钱学明的肩膀：
“好，就按这个节奏推进，不要太急。”
“每一步都稳扎稳打，该测试的测试，该记录的数据记录完整。”
“试生产阶段不求快，但每一步都要拿得出可追溯的工艺数据，有什么问题随时沟通。